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勤友光電Side Wiring低溫鍍膜連續濺鍍設備(Side Wiring Low Temperature In-Line Sputtering system)



勤友光電已經成功開發Side wiring 低溫鍍膜Ti/Cu/Ti工藝製程的連續濺鍍設備,可應用於Micro LED/Mini LED顯示器拼接及LCD &OLED超窄邊框設計,因其具備有低溫(<100℃)鍍膜的優勢,可以在顯示器上直接濺鍍數微米厚度的金屬導電膜,而不會過熱傷害到顯示器內部的組成。


Side wiring低溫鍍膜連續濺鍍設備,配有RF Plasma clean 模組以及上下平面濺鍍靶機,適合面板Side wiring以及半導體封裝金屬鍍膜製程,歡迎有興趣的客戶與我們聯繫。

TEL: 03-222-3005-ext 108, 118, 128

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