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技術專利

2019/3/21

環形遮蔽元件及承載裝置 : 一種環形遮蔽元件，適於配置於一承載裝置的一承載薄膜，應用於清洗半導體晶圓之設備

2019/3/21

乾式清潔模組 : 包括一固體清潔裝置、一排氣裝置以及至少一氣體清潔裝置，應用於清洗半導體晶圓之設備

2019/2/11

光源系統 : 一種光源系統，包括一發光裝置、一第一鏡頭以及一第二鏡頭，運用於半導體晶圓剝離設備

2018/3/11

元件分離裝置 : 運用於半導體晶圓剝離設備，使玻璃與晶圓分離之裝置

2016/2/21

捲對捲製作設備 : 應用於捲繞式鍍膜設備，用以傳送基板

2015/7/6

用於雷射剝離處理之晶圓結構

2015/7/6

薄化基板的貼合製程方法及其結構

2015/05/27

Roll to Roll高效率真空濺鍍 軟性CIGS太陽能電池

2015/05/04

石墨烯化學氣相沉積(CVD)製程用過渡金屬—銅箔

2015/04/19

提升抗反射膜(Anti-ReflectionAR Coating)均勻度

2015/03/01

低溫ITO鍍膜在顯示行業應用

2014/2/21

有機發光二極體結構 : 用以大幅提升有機發光二極體結構應用在顯示面板的透光度與色彩飽和度

2014/02/11

清洗晶圓之盤式載具 : 應用於半導體清洗晶圓之盤式載具

2014/2/1

鍍膜製程中之圖案形成方法及應用此方法之基板承載設備 : 運用於鍍膜過程中，以及降低整體製程時間與成本

2013/12/21

承載治具 : 應用於真空濺鍍，達到板件無邊框之全平面濺鍍效果

2011/7/26

承載工具以及基板及其承載工具的組合 : 應用於真空濺鍍，可對基板進行無邊框之全表面處理製程

2010/8/6

真空裝置的閥門結構 : 應用於真空濺鍍，用以封閉腔室

2010/06/01

輸送裝置的磁性導正機構 : 應用於真空濺鍍，令滑座非接觸式的於軌道內移動，以提供更佳的輸送穩定性與更長的使用壽命
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