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勤友光電成功在台灣市場推出雷射退火設備用於第三代半導體SiC 製程工藝



勤友光電成功在台灣市場推出雷射退火設備用於第三代半導體SiC 製程工藝,雷射退火設備的特點有:

1.雷射光垂直照射,照射角度全場一致,焦面不受掃描影響,更為穩定 2.焦面不受掃描影響,更為穩定 3.可選配UV與 綠光波長雷射… 4.可搭配Top Hat光斑均勻性佳 >90+% 且光斑均匀性較佳 5.光斑尺寸較大,產出WPH 明顯提升近一倍 6.退火後外觀,重疊均勻、微觀形貌一致、拼接完整 7.比接觸電阻小 8.可搭配封閉式正壓N2腔室控制氧含量

基於雷射退火設備有強大的競爭力與量產經驗,勤友光電準備進軍國際市場,將先進技術拓展至業界!


TEL: 03-222-3005-ext 108, 118, 128

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