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In-Line 連續式真空鍍膜設備
In-Line Sputtering System


特點
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可提供完整解決方案(total solution)涵蓋設計、製作、行銷、維護各方面,提供最完整且及時的服務。
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豐富的旋轉靶機整合經驗。
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特殊磁浮傳動機構,可大幅降低傳動時震動所產生之particle,有效提高產品良率。
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Sub-Carrier的特殊設計方式,可對應多種玻璃尺寸及降低後續生產成本。
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具有整合反應式濺鍍的豐富經驗,包括在PLC的通訊上,採用光纖傳輸,避免過多的MF Power Supply的搭配下所產生的干擾。
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圖控軟體採用iFix,無需原始碼 (Source Code),即可進行修改。
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業界最多IM + ITO 實績,及最早成功提供客戶多層AR In-Line Sputter的設備,且現均正常量產中,技術團隊豐富的製程經驗,可縮短客戶的學習曲線,及縮短設備問題排除時間。
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已建立多項大世代連續式真空鍍膜設備實績: 包括G5 x 3, G6 x 2, G7 x 4, G7.5 x 2。
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擁有整合Robot Handling System的豐富經驗。
應用
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光電業:平面顯示器、觸控面板
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建築業:帷幕節能玻璃鍍膜(Energy Saving Glass Coating)、低輻射玻璃鍍膜(Low-E Glass)
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電子&半導體業:抗EMI金屬鍍膜
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能源與照明業:太陽能電池面板鍍膜、汽車頭燈鍍膜
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食品業、包裝紙業:抗水氣鍍膜(Anti-Moisture Coating)、金屬類鍍色包裝紙、奈米鍍膜
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紡織業:抗電磁波鍍膜、金屬類鍍色
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IM ITO玻璃應用:抗反射、防靜電、折射率匹配。
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抗反射玻璃(AR)
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薄膜太陽能(ZnO,AZO,CIG,)

規格
詳細規格,請來電洽詢
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