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In-Line 連續式真空鍍膜設備
In-Line Sputtering System

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特點

  1. 可提供完整解決方案(total solution)涵蓋設計、製作、行銷、維護各方面，提供最完整且及時的服務。

  2. 豐富的旋轉靶機整合經驗。

  3. 特殊磁浮傳動機構，可大幅降低傳動時震動所產生之particle，有效提高產品良率。

  4. Sub-Carrier的特殊設計方式，可對應多種玻璃尺寸及降低後續生產成本。

  5. 具有整合反應式濺鍍的豐富經驗，包括在PLC的通訊上，採用光纖傳輸，避免過多的MF Power Supply的搭配下所產生的干擾。

  6. 圖控軟體採用iFix，無需原始碼 (Source Code)，即可進行修改。

  7. 業界最多IM + ITO 實績，及最早成功提供客戶多層AR In-Line Sputter的設備，且現均正常量產中，技術團隊豐富的製程經驗，可縮短客戶的學習曲線，及縮短設備問題排除時間。

  8. 已建立多項大世代連續式真空鍍膜設備實績: 包括G5 x 3, G6 x 2, G7 x 4, G7.5 x 2。

  9. 擁有整合Robot Handling System的豐富經驗。

應用

  • 光電業：平面顯示器、觸控面板

  • 建築業：帷幕節能玻璃鍍膜(Energy Saving Glass Coating)、低輻射玻璃鍍膜(Low-E Glass)

  • 電子&半導體業：抗EMI金屬鍍膜

  • 能源與照明業：太陽能電池面板鍍膜、汽車頭燈鍍膜

  • 食品業、包裝紙業：抗水氣鍍膜(Anti-Moisture Coating)、金屬類鍍色包裝紙、奈米鍍膜

  • 紡織業：抗電磁波鍍膜、金屬類鍍色

  • IM ITO玻璃應用:抗反射、防靜電、折射率匹配。

  • 抗反射玻璃(AR)

  • 薄膜太陽能(ZnO,AZO,CIG,)

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規格

詳細規格，請來電洽詢

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